เทคนิคการวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS หรือ EDX, WDX หรือ WDS, และ EPMA แบบใหนดีกว่ากัน

(** บทความนี้ขอขอบคุณ คุณกลอ์ฟ Mr.Golf มากๆค่ะ จากใจ Do SEM Dec 21,2012 **)

เครื่องมือที่ใช้ในการวิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณและเชิงคุณภาพด้วย EDS หรือ EDX, WDX, และ EPMA ใน
กลุ่ม Micro analysis และ Surface analysis เครื่องมือที่ยอดนิยมมากสุดในเมืองไทย คงหนีไม่พ้นเครื่อง
มือที่เรียกกันว่า EDS หรือ EDX, Energy dispersive X-ray spectrometer ไม่ใช่เพราะเหตุผลเป็นเครื่องมือ
ที่วิเคราะห์ให้ผลแม่นยำที่สุด ดีที่สุดแต่อย่างใด แต่เป็นเพราะเครื่องมีราคาถูกสุด ดูแลรักษาง่ายสุด ใช้งาน
สดวก ได้ผลรวดเร็วเท่านั้นเองเมื่อเทียบกับเครื่อง WDX/WDS และ EPMA

เพื่อเป็นแนวทางในการตัดสินใจ ในการเลือกเครื่องมือให้ตรงกับงาน และงบประมาณของเรา เราก็จะนำมา
สรุปให้สั้นๆ ของเครื่องมือทั้ง 3 แบบ

เรามาดูหลักการ ข้อดีข้อเสียของเครื่องมือทั้งสามแบบกันครับ

EDS/EDX

EDS (เรียกว่า อี ดี เอส) หรืออีกชื่อ EDX (อี ดี เอ็กซ์) ชื่อเต็ม Energy Dispersive X-ray Spectrometer
บางทีบางท่านจะเรียกว่า EDAX (อี แด็กซ์) ด้วยซ้ำ แต่จริงๆแล้วชื่อ EDAXนี้จะเป็นยี่ห้อ EDS/EDX นะครับ

พูดถึงยี่ห้อEDS/EDX แล้วในเมืองไทยจะมียี่ห้อ ยอดนิยมอยู่ 2บริษัท คือ OXFORD และ EDAX ที่ใช้กัน
เยอะสุดก็ต้องยี่ห้อนี้เลยครับ OXFORD (ขอค่าโฆษณาหน่อยครับ) ผู้เขียนไม่ได้มีส่วนได้ส่วนเสียกับยี่ห้อนี้
นะครับ แต่เคยมีประสบการณ์ในการใช้ ติดตั้ง ซ่อมมากว่า 18 ปีตั้งแต่ปี 1994 รุ่น eXl series,QX series,
LINK ISIS series, INCA series อนาคตอาจจะ AZtec (ปัจจุบันขอทำนาดีกว่า 5555)

รายละเอียดโปรแกรม EDS/EDX คลิก และ คลิก

มาดูหน้าตาเจ้าเครื่อง EDS/EDX ที่ว่ากัน

ตามรูปเราจะเห็น EDS/EDX detector แบบเติม LN2* ยี่ห้อ OXFORD ติดตั้งกับ JEOL SEM

* ไนโตรเจนเหลว

อ่านบทความนี้ต่อคลิก ลิงค์ด้านล่างค่ะ
เทคนิคการวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS หรือ EDX, WDX หรือ WDS, และ EPMA

EDS,EDX,Energy dispersive x-ray spectrometer,WDS,WDX,
Wavelength dispersive X-ray spectroscopy,EPMA,electron probe microanalyzer