CAMEO Qualitative phase Image Analysis
CAMEO คือเทคนิคการวิเคราะห์เฟสของวัสดุ เชิงคุณภาพด้วยเครื่อง EDS,EDX

เหมาะสำหรับตัวอย่างขัดเรียบ, งานหล่อ,เหล็กหล่อ,งานฉาบเคลือบสีและวัสดุ และอื่นๆที่ต้องการเช็คเฟส
(Phase analysis)



ตามตัวอย่างที่นำเสนอไม่ได้ขัดเรียบ แต่นำมาวิเคราะห์ให้ดู เป็นไกด์แนะแนวทางในการวิเคราะห์หาเฟส

ตามภาพด้านล่างถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด SEM
ที่ 20kv (กิโลโวลท์) กำลังขยาย x 200 เท่า สเกล 100 um (ไมครอน)หรือ 0.1 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ตามภาพด้านล่างถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด SEM
ที่ 20kv (กิโลโวลท์) กำลังขยาย x 200 เท่า สเกล 100 um (ไมครอน) หรือ 0.1 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ BEI COMPO+SHADOWS
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

ภาพล่างนี้เป็นตำแหน่งเดียวกัน แต่คนละโหมดภาพ ภาพนี้จะแยกเฉดสีของธาตุ ตามเลขอะตอมมิค
atomic no./ z โดยธาตุเบาจะออกโทนสีมืด(z น้อย) ธาตุหนักภาพจะออกสีสว่าง (z มาก)



เราวิเคราะห์เชิงคุณภาพต่อด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX (Qualitative Analysis)
จะได้สเปกตรัมทำให้เราทราบว่าตัวอย่างเราตามภาพ มีธาตุ C , O, Si, P, Cl, K, Ca, Mn, Fe, Cu, Zn



เราวิเคราะห์เชิงปริมาณต่อด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX (Quantitative Analysis)
ทำให้เราทราบว่าตัวอย่างเราตามภาพ มีธาตุ C , O, Si, P, Cl, K, Ca, Mn, Fe, Cu, Zn อยู่ปริมาณเท่าไร
เป็น Element %

เราวิเคราะห์ดูการกระจายของธาตุเชิงคุณภาพต่อด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX (Mapping)
จะได้ตำแหน่งการกระจายตัวของธาตุ C , O, Si, P, Cl, K, Ca, Mn, Fe, Cu, Zn




CAMEO Qualitative phase Image Analysis
เราวิเคราะห์ดูเพสของธาตุเชิงคุณภาพต่อด้วยเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX 

ตามภาพ เราเช็คเฟสที่ระดับพลังงานที่ย่าน 5.5 kev. ถึง 8.5 kev.
ตำแหน่งเฟสนี้จะเป็นการเช็คเฟสของ Mn, Fe, Cu 
ระยะเวลาใช้ในการวิเคราะห์ 10 นาที (ควรใช้เวลาวิเคราะห์ 30 นาที) จะได้ภาพที่ละเอียดกว่านี้

ตามภาพ เราเช็คเฟสที่ระดับพลังงานที่ย่าน 0.1 kev. ถึง 10 kev.
ตำแหน่งเฟสนี้จะเป็นการเช็คเฟสของ C , O, Si, P, Cl, K, Ca, Mn, Fe, Cu, Zn
ระยะเวลาใช้ในการวิเคราะห์ 10 นาที (ควรใช้เวลาวิเคราะห์ 30 นาที) จะได้ภาพที่ละเอียดกว่านี้



ตามภาพ เราเช็คเฟสที่ระดับพลังงานที่ย่าน 0.1 kev. ถึง 15 kev.
ตำแหน่งเฟสนี้จะเป็นการเช็คเฟสของ C , O, Si, P, Cl, K, Ca, Mn, Fe, Cu, Zn สเกลจะละเอียดกว่า
0.1 kev. ถึง 10 kev.
ระยะเวลาใช้ในการวิเคราะห์ 10 นาที (ควรใช้เวลาวิเคราะห์ 30 นาที) จะได้ภาพที่ละเอียดกว่านี้

ตามภาพ เราเช็คเฟสที่ระดับพลังงานที่ย่าน 0.1 kev. ถึง 20 kev.
ตำแหน่งเฟสนี้จะเป็นการเช็คเฟสของ C , O, Si, P, Cl, K, Ca, Mn, Fe, Cu, Zn สเกลจะละเอียดกว่า
0.1 kev. ถึง 15 kev.
ระยะเวลาใช้ในการวิเคราะห์ 30 นาที จะได้ภาพที่ละเอียดกว่าทุกการวิเคราะห์ที่ผ่านมา การเช็คเฟสเรา
สามารถเลือกย่านแคบๆได้ เพื่อต้องการดูเพสของธาตุตัวเดียว หรือสองสามตัว ไม่ต้องดูทุกเพสได้
เช่นถ้าเราต้องการเช็ค Mn เราก็สามารถตั้ง kev. ประมาณ 5.7- 6.0 kev. ได้



การใช้โปรแกรม และข้อมูลขอขอบคุณ Mr.Golf สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม มากๆค่ะ

ข้อมูลเพิ่มเติม : www.dosem24hr.com

 *************************************************************************
Tag : cameo,cameo analysis,phase image,phase analysis,qualitative phase,วิเคราะห์เฟสวัสดุ

ที่มา : //www.dosem24hr.com/index.php

สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์